Laser Hologage（激光全息测微计）

542系列- 0.00001mm分辨率型

日本三丰品牌 MITUTOYO 542-925 线性测微计

三丰的Laser Hologage 是一种高端数显测量系统，采用衍射光束干涉，进行高精度和高重复精度测量。它具有超细衍射光栅，将全息影像记录在刻度上。Laser Hologage 适于测量精度极高的工件，特别适于半导体等行业使用。

特点：

1、由于具有0.00001mm（0.01µm）的极高分辨率适于进行高精度测量，其性能接近激光干涉仪。

2、具有极高的测量稳定性—高防护性设计，适于在恶劣的环境下工作，如温度和气压变化的环境。

3、心轴导轨使用高精度线性滚珠轴承，移动非常滤波且延长了使用寿命。

4、带有显示装置。

技术参数：

精度：参见性能参数（不包括量化偏差）

分辨率：0.01µm

长度基准：Laser-hologram 测量传感器

最大反应速度：250mm/s

测针：R5mm硬质合金

轴套：Φ15mm

轴承类型：高精度线性滚珠轴承

测力：参见性能参数

输出信号：90度相位差，差动方形波

信号间距：0.25µm

标准附件：

538610：带扳手的测头

选件：

971751：用于在上表面固定的轴套固定装置

971752：用于在下表面固定的轴套固定装置

971753：心轴提升电缆

971750：Laser Hologage支架

性能参数：

测量范围

货号

分辨率

精度

测力**

轴套直径

备注

10mm(.4〞)

542-925*

0.01µm/1µinch

0.1µm

0.55N/0.45N/0.35N

15mm

--

10mm(.4〞)

542-926*

0.01µm/1µinch

0.1µm

0.1N/-/-

15mm

低测力

*为区分交流电源电缆，在货号后加上以下后缀：A适于UL/CSA,D适于CEE,DC适于CCC,E适于BS,K适于EK，无后缀适于JIS/100V。

**量具的方向：心轴向下/水平/向上

尺寸图片：单位（mm）