Formtracer Extreme (超级表面粗糙度/轮廓测量装置) CS-H4000CNC

525系列-CNC形状测量仪

日本三丰品牌 MITUTOYO 525-752 表面粗糙度测量仪

特点：

1、高精度测针型CNC表面测量仪可以同时进行表面粗糙度和形状/轮廓的测量。

2、X1和Z2轴的最大驱动速度分别为40mm/s和200mm/s，可以高速定位，从而提高了多重轮廓/多工件测量的效率。

3、X1和Z1轴上装有三丰激光全息光栅尺，从而可以实现高分辨率（X1轴分辨率：6.25nm,Z1轴分辨率：4nm/8nm）的轮廓/形状测量、表面粗糙度的测量和批次测量。

4、Z1轴检测器采用主动控制方式，减少Z1轴动态测力变化的同时扩展了测量范围。

5、Z1轴检测器集成了防碰撞安全装置，当仪器主体与工件或夹具发生碰撞时，检测装置可以自动停止工作。

6、带有Y轴工作台的型号，可沿Y轴进行多工件定位，从而增加了多工件测量范围。

7、提供易于操作的遥控箱，用户可以通过这两个操纵杆选择合适的轴进行移动。在按键上标有易于理解的图形显示轴的选择状态。

8、通过USB端口与数据处理/分析装置（选件）进行信息交换。



技术参数：

X1轴

测量范围：100mm

分辨率：0.00625µm

检测方法：激光全息光栅尺

驱动速度：最大40mm/s（CNC模式） 0-40mm/s（操纵杆控制模式）

测量速度：0.02-0.2mm/s(表面粗糙度)

0.02-2mm/s（形状/轮廓）

测量方向：向前/向后

直线度： （0.05+0.0003L）µm

指示精度（20℃）：±（0.16+0.001L）µm L为驱动长度（mm）



Z1轴：

测量范围： 12mm

分辨率：0.001µm

测针上/下运作：弧形运动

检测方法：激光全息光栅尺

指示精度（20℃）：±（0.07+I0.02HI）µm H为测量高度（mm）

测力：4mN

跟踪角度：向上60°，向下60°（取决于表面粗糙度）

测针针尖（球型测针）：钻石，角度：40°，半径5µm （半径：0.25mm，蓝宝石）

测针方向：向下

Z2轴（立柱）

测量范围： 300mm

分辨率：0.05µm

检测方法：反射型线性编码器

驱动速度：最大200mm/s（CNC模式） 0-50mm/s（操纵杆控制模式）

基座尺寸：（W×D）:600×550mm

基座材料：花岗岩

Y轴*

测量范围：100mm

分辨率：0.05µm

检测方法：反射型线性编码器

驱动速度：最大80mm/s（CNC模式） 0-50mm/s（操纵杆控制模式）

台面最大承重：50Kg

直线度：1.0µm/100mm

定位精度：±1µm *仅适用于525-753，525-754

基座尺寸：（W×D×H）:600×570×992mm(主机)

重量：190kg(主机)

软件选件：

FORMTRACEPAK V5

使用该软件可以控制马达驱动的Y轴工作台和旋转台选件，从而实现自动测量。使用该软件还可以进行轮廓评估，这项评估包括对级差，角度，深度，面积和其他基于表面粗糙度数据的特性进行分析。另外，还可以通过设置打印格式建立原始检测证书，以适应不同的需求。

性能参数：

型号

CS-H4000CNC

CS-H4000CNC

货号（mm）

525-751*

525-753*

货号（inch）

525-752*

525-754*

X1轴测量范围

200mm

200mm

Z2轴垂直移动

300mm

300mm

Y轴工作台装置

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已安装

а轴装置

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已安装

*为区分交流电源电缆，在货号后加上以下后缀：

A适于UL/CSA,D适于CEE,E适于BS,DC适于中国，K适于EK，无后缀适于JIS/100V

测针：