FS-70

378系列-半导体检测用显微镜

日本三丰品牌 MITUTOYO 378-187-3 显微镜

特点：

1、此光学系统最初是为了畅销的FS60型（后升级为FS70型）而开发的。它作为测量检测半导体器件的显微镜是很理想的。

2、FS70L支持3种YAG激光波长（1064nm,532nm,355nm），FS70L4支持2种波长（532nm,266nm），可在半导体和液晶基板中使用薄膜激光切割技术。这就扩大了激光的使用范围。然而，使用三丰量具对显微镜的激光系统的性能和安全性，三丰公司不负责任。我们推荐在选购激光发射器时应仔细检查。

3、FS70Z的标准功能有：亮视场，微分干涉对比（DIC）和偏振观测。FS70L和FS70L4不支持DIC。

4、使用内置式转换器使得长工作距离物镜的操作很简单。

5、极易操作的设计：FS70采用正像光学系统（视场中的像与样品方向相同）并用橡胶把手加大微调手轮。

技术参数：

对焦

方法：有同心粗调和微调手轮（左和右）

范围：50mm测量范围，微调0.1mm/rev.同心，粗调3.8mm/rev.

三目镜筒图像：正像

瞳距：Siedentopf型

调节范围：51-76mm

视场数：24

俯角：0°-20°（仅用于-TH，-THS型号）

照明系统：亮视场反射照明（科勒照明、带孔径光阑）

光源：12V100W光纤、无极亮度调节，光导长度1.5m、功耗150W

物镜（选件）：M Plan Apo,M Plan Apo SL,G Plan Apo

性能参数：

型号

FS70

FS70-TH

FS70Z

FS70Z-TH

FS70L

FS70-TH

FS70L4

FS70L4-TH

货号

378-184-1

378-184-3

378-185-1

378-185-3

378-186-1

378-186-3

378-187-1

378-187-3



短基座型号

FS70-S

FS70-THS

FS70Z-S

FS70Z-THS

FS70L-S

FS70L-THS

FS70L4-S

FS70L4-THS

货号

378-184-2

378-184-4

378-185-2

378-185-4

378-186-2

378-186-4

378-187-2

378-187-4

对焦

50mm行程，同心焦距粗调（3.8mm/rev）和微调（0.1mm/rev）轮（左、右）

图像

正像

瞳距

Siedentopf型，调节范围:51-76mm

视场数

24

俯角

——

0°-20°

——

0°-20°

——

0°-20°

——

0°-20°

透过率

50/50

100/0或

0/100

50/50

100/0或

0/100

100/0或0/100

100/0或0/100

保护性滤光片

——

——

内置激光射线滤光片

内置激光射线滤光片

光管镜头

1X

1X-2X焦距型

1X

1X

适用激光

——

——

1064/532/355mm

532/266mm

相机端口

C-mount （使用适配器B选件）

使用带有电视端口的激光器

C-mount插座（带有绿色滤光片转换开关）

照明系统（选件）

亮视场反身照明（科勒照明、带孔径光阑）

12V 100W光纤、无极亮度调节、光导长度：1.5m,功耗150W

物镜选件（用于观察）

M Plan Apo,M Plan Apo SL,G Plan Apo



物镜选件（用于激光切割）

——

M/LCD Plan NIR

M/LCD Plan NU

M Plan UV

载重*

14.5kg

13.6kg

14.1kg

13.2kg

14.2kg

13.5kg

13.9kg

13.1kg

重量（主机）

6.1kg

7.1kg

14.1kg

7.5kg

6.4kg

7.2kg

6.7kg

7.5kg

*光管的载重不包括物镜镜头和目镜的重量